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产品介绍
PRODUCT DESCRIPTION

该化学气相沉积设备真空镀膜腔室采用独立双层水冷结构,冷却高效均匀,结构安全稳定;双门及多观察窗多扩展接口设计,方便外接红外测温、光谱分析、视频监控、热电偶等辅助外设。先进的设计理念使设备的日常检修与维护、配置变更与升级变得轻松简单,有效降低使用和升级成本。

 

设备特点:

1.设备的充气组件主要包括质量流量计、电磁阀、混气罐,保障工艺气体流量的精确控制,不同气体均匀混合、安全隔离,并且可选载气系统组件,用于液态气源的使用,方便广泛的液态碳源的个性化选用,或合成导电金刚石电极液态硼源等的安全使用。

2.抽气组件配备静音高效旋片式真空泵,以及快速满足高真空本底环境的涡轮分子泵系统。真空测量采用电阻规与电离规搭配的复合真空计,以及可大范围测量不同工艺气体压力的电容薄膜规系统。沉积气压的控制采用高精度比例调节阀全自动控制。

3.冷却水组件配备多路水压、流量、温度的测量及软件自动监控,不同冷却部件相互独立,方便快速诊断故障,所有支路拥有独立的阀门开关,安全高效。

4.电气控制组件采用大尺寸人机界面液晶屏,配合PLC全自动控制,方便工艺配方编辑和导入;图形化曲线直观显示各参数变化及数值,设备及工艺参数自动记录存档,方便问题追溯及数据统计分析。

5.工件架组件配置伺服电机控制基片台升降,可选石墨或紫铜基片台,温度通过热电偶进行测量。

6.机架组件根据客户需求可整体或分体式设计,满足客户搬运特殊要求。

7.封板组件整体美观大方,设备不同功能模块区域的封板可独立快速拆装或打开关闭,使用十分方便。

 

热丝化学气相沉积设备适用于沉积生长金刚石材料,包括薄膜涂层及自支撑厚膜、微晶及纳米晶金刚石、导电金刚石等。主要应用于硬质合金刀具的耐磨保护涂层,硅及碳化硅等半导体材料,器件的散热涂层,掺硼导电金刚石电极电解水产生臭氧消毒或处理污水等。

 

 

型号
内腔尺寸备注

HFCVD0606

φ600*H600(mm)

设备可根据客户要求定制