随着市场对改善硬质涂层的耐磨、润滑、抗腐蚀等性能的需求急剧增长,阴极电弧磁过𝓡滤离子镀设备成为亮点。设备采用最常用、最有效的90度弯管圆截面磁过滤装置,能高效地去除大颗粒,从而把阴极电弧离子镀技术的优越性发挥到极致。在制备DLC超硬涂层领域,尤其是在制备具有高硬度、低摩擦系数、导热、绝缘、吸收紫外线、抗辐射༒损伤、耐腐蚀等诸多优良的物理化学特性的Ta-C涂层领域,优势尤为显著,Ta-C涂层平均硬度最高可达约63GPa。
♏设备可沉积Ta-C/AlTiN/AlCrN/TiCrAlN/TiAlSiN/CrN等碳的杂化态类金刚石涂层;适用于微钻、铣刀、丝锥、杆♏状类刀具、汽车零部件、医疗器械等领域。
Ta-C涂层测试数据:
激光Raman光谱检测结果,高速钢表面有Cr过渡层的拉曼光谱:
样品20210122 Raman检测结果的高斯拟合(ID/IG=0.224, sp3的含💯量足够高):
纳米压痕仪硬度检测检测结果,样品20210122的平均硬度为62.7GPa: